- Термин
- подложка
- Термин на английском
- substrate
- Синонимы
- wafer
- Аббревиатуры
- Связанные термины
- адсорбция, десорбция, поверхностная диффузия
- Определение
- образец со специально подготовленной поверхностью для наращивания на ней пленок и наноструктур или проведения исследований поверхностных процессов (адсорбции, десорбции, кластерообразования, поверхностной диффузии и т.д.).
- Описание
- Авторы
- Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- Иллюстрации
- Теги
- Разделы
- Управляемые методы формирования наноструктур
Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.