- Термин
- просвечивающий электронный микроскоп
- Термин на английском
- transmission electron microscope
- Синонимы
- Аббревиатуры
- ПЭМ, TEM
- Связанные термины
- микроскопия, электронный микроскоп, микроскопия зондовая
- Определение
разновидность электронного микроскопа - высоковакуумный высоковольтный прибор, в котором изображение от ультратонкого объекта (толщиной порядка 500 нм и менее) формируется в результате взаимодействия пучка электронов с веществом образца при прохождении через него насквозь.
- Описание
Принцип действия просвечивающего электронного микроскопа практически аналогичен принципу действия оптического микроскопа,
только в первом используются магнитные линзы вместо стеклянных и электроны вместо фотонов. Пучок электронов, испускаемый электронной пушкой, фокусируется с помощью конденсорной линзы в маленькое пятно ~2-3 мкм на образце и после прохождения через образец фокусируется с помощью объективной линзы для получения проекции увеличенного изображения на
специальном экране или детекторе. Очень важным элементом микроскопа является апертурная диафрагма, расположенная в задней фокальной плоскости объективной линзы. Она определяет контраст изображения и разрешающую способность микроскопа. Формирование контраста изображений в ПЭМ можно объяснить следующим образом. При прохождении через образец пучок электронов теряет часть своей интенсивности на рассеяние. Эта часть больше для более толстых участков или для участков с более тяжелыми атомами. Если апертурная диафрагма эффективно отсекает рассеянные электроны, то толстые участки и участки с тяжелыми атомами будут выглядеть как более темные. Меньшая апертура увеличивает контраст, но приводит к потере разрешения. В кристаллах упругое рассеяние электронов приводит к появлению дифракционного контраста.- Авторы
- Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- British standart BSI - PAS133:2007 Terminology for nanoscale measurement and instrumentation
- Transmission Electron Microscopy (TEM) / © 2000 MATTER URL: http://www.matter.org.uk/tem/
- HREM / Wikipedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/HREM
- Transmission Electron Microscopy (TEM) / © University of Cambridge URL: http://www.msm.cam.ac.uk/doitpoms/tlplib/tem/index.php
- Handbook of microscopy for nanotechnology/ edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.
- Иллюстрации
Микрофотография сечения нанопроволоки CoSi2, выросшей на поверхности кремния
Источник: Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao. Zhong Lin Wang. 2005 Kluwer Academic Publishers- Теги
- Разделы
- Просвечивающая электронная микроскопия, в том числе высокого разрешения
Методы диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов
Приборостроение для наноиндустрии
Метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии (включая методики анализа и испытаний)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.