Akademik

Наноимпринтинг и травление

Статьи

• литография
• микроморфология
• наностержень
• фокусированный ионный пучок

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.