Akademik

Оптическая литография

Статьи

• лаборатория на чипе
• литография
• микроморфология
• фоторезист

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.